Общ преглед на продукта
Кръглите мишени за разпрашаване от титан служат като -катоден изходен материал с висока чистота за магнетронно разпрашаване и системи за физическо отлагане на пари (PVD). Произведени от вакуумно-разтопени титанови слитъци, тези кръгли мишени осигуряват еднакви микроструктури, за да осигурят стабилен плазмен разряд, предсказуеми скорости на растеж на тънки-слои и постоянна електрическа проводимост през полупроводникови, оптични и декоративни покрития.
Технически спецификации
|
Чистота |
Степен 1 (99,5%), степен 2 (99,7%), 99,9% (3N), 99,95% (3N5), 99,99% (4N), 99,995% (4N5) |
|
Стандартни диаметри |
2 инча до 16 инча (налични размери по поръчка при поискване) |
|
Диапазон на дебелината |
3 мм до 20 мм |
|
Микроструктура |
Среден размер на зърната < 100 um с равноосно разпределение на зърната |
|
Плътност |
> 4.51 g/cm3 (>99,5% теоретична плътност) |
|
Материали за опорна плоча |
Мед (OFHC), свободна{0}}кислород мед или алуминий (налично свързване с индий или еластомер) |
|
Повърхностно покритие |
Обработени, припокрити или полирани (Ra<= 0.4 um), vacuum-cleaned and vacuum-packed |
Ключови характеристики
Фин и еднакъв размер на зърното:Контролираната термо-механична обработка предотвратява локализирано прегряване, намалявайки генерирането на частици и дефектите с малки дупки по време на отлагане с висока-мощност.
Ниски газови примеси:Контролираните интерстициални нива на кислород, азот, въглерод и водород минимизират образуването на микро-дъга вътре във вакуумната камера.
Висока металургична якост на свързване:Ултразвуковото сканиране потвърждава > 95% покритие на свързване между титаниевата целева плочка и медната опорна плоча, осигурявайки оптимален топлинен и електрически трансфер.
Точни допустими отклонения на размерите:CNC обработката поддържа толеранси на външния диаметър и дебелина в рамките на +/- 0.1 mm за точно монтиране на системата.
Приложения
Полупроводници и микроелектроника:Отлагане на гейт електрод, дифузионни бариери и зародишни слоеве за интегрални схеми.
Оптични покрития:Анти{0}}антирефлексни (AR) покрития, оптични филтри и прецизни подобрения на лещите.
Архитектурно и автомобилно стъкло:Покрития с ниска-емисия (Low-E) и филми за слънчева защита за енергийно{2}}ефективно остъкляване.
Декоративен и устойчив{0}}на износване PVD:Функционални слоеве от титанов нитрид (TiN) или титанов карбо{0}}нитрид (TiCN) за хардуер, ръчни часовници и режещи инструменти.
Персонализиране и производство
Производството използва вакуумно индукционно топене (VIM), вакуумно дъгово претопяване (VAR), много-посочно коване и прецизно валцуване. Този път на обработка разрушава лятите структури, за да елиминира вътрешните кухини при свиване.
Персонализирани геометрии:Стъпаловидни ръбове, скосявания, охлаждащи отвори с резба и не-стандартни диаметри, нанесени на конкретни катодни пистолети (напр. Angstrom Sciences, AJA International, Lesker).
Услуги за свързване:Свързване с индий и еластомер, извършено в-дома, за да издържат на висока плътност на мощността без термично разлепване.
Контрол на качеството и сертификати
Химичен анализ:Масспектрометрията с индуктивно свързана плазма (ICP-MS) и масспектрометрията с тлеещ разряд (GDMS) проверяват концентрациите на следи от метални и интерстициални елементи. Всяка партида се доставя със специален Сертификат за анализ (CoA).
Не{0}}деструктивен тест (NDT):Инспекцията с ултразвуково C-сканиране оценява целостта на връзката между мишената и опорната плоча, скринирайки за вътрешни кухини или разслояване.
Металографско изследване:Оптичната микроскопия потвърждава разпределението на размера на зърната и фазовата хомогенност.
Съответствие със стандартите:Произведено по системи за управление на качеството ISO 9001:2015.
Опаковане и доставка
Първична опаковка:Вакуумни-запечатани двойни полиетиленови торби-клас за чиста стая, пълни с инертен газ аргон.
Вторична опаковка:Окачени форми за -поглъщане на удари от EPE пяна, поставени в тежкотоварни каси от шперплат за износ, за да се предотврати отчупване на ръбове или надраскване на повърхността по време на транспортиране.
Включена документация:Сертификат за анализ, информационен лист за безопасност на материала (MSDS) и доклад за проверка на размерите.
ЧЗВ
Въпрос: Какво ниво на чистота трябва да избера за оптични приложения спрямо декоративни PVD?
О: Приложенията с оптичен тънък{0}}слой обикновено изискват 99,99% (4N) или по-висока чистота за елиминиране на следи от метални включвания, които причиняват абсорбция или разсейване на светлината. Линиите за декоративно покритие, обработващи функционални слоеве като TiN, обикновено използват 99,9% (3N) чистота, за да балансират стабилността на отлагането с ефективността на разходите за материали.
В: Как предотвратявате напукване на целта по време на-мощно импулсно магнетронно разпръскване (HiPIMS)?
О: Целевото напукване се смекчава чрез стриктно много-посочно коване и проходи на кръстосано-валцоване, които осигуряват напълно рекристализирана фина зърнеста структура под 100 um. Тази еднаква кристална ориентация разпределя равномерно топлинния стрес при висока плътност на мощността.
Въпрос: Каква е максималната плътност на мощността за свързани цели спрямо несвързани монолитни цели?
О: Несвързаните монолитни мишени обикновено са ограничени до по-ниска плътност на мощността поради термично съпротивление през въздушната междина между мишената и катодната подложка. Свързаните мишени, използващи интерфейс от индий или еластомер, могат да се справят с по-високи мощностни натоварвания (над 15 W/cm2), при условие че се поддържа ефективен поток на охладена вода.
Въпрос: Можете ли да съпоставите персонализирани чертежи на опорна плоча за наследени или патентовани системи за разпръскване?
A: Да. Производството включва дизайни на опорни плочи по поръчка. Инженерите преглеждат STEP, IGES или 2D PDF чертежи, за да съответстват на специфични конфигурации на водни-канали, разположение на жлебовете на О-пръстените и изисквания за-шаблона на болтовете.
В: Какви методи за тестване проверяват целостта на свързване на запоени цели?
О: Ултразвуковото C-сканиране без-разрушителен тест инспектира целия свързващ интерфейс. Всяка локализирана несвързана област или кухина, надвишаваща 5% от общата повърхност, или всяка единична кухина, по-голяма от 5 mm, води до отхвърляне.
Въпрос: Какво е стандартното време за доставка на поръчки за прототипи и производствени партиди?
О: Стандартните складови размери се доставят в рамките на 3 до 5 работни дни. Обработените по поръчка-мишени или свързани сглобки изискват 2 до 3 седмици в зависимост от наличността на материала и сложността на конфигурацията на опорната плоча.
Поискайте оферта
Изпратете целеви спецификации (чистота, размери, количество, изисквания за опорна плоча и модел на целевия катод), за да получите официална оферта и лист с данни за материала в рамките на 24 работни часа.
Популярни тагове: кръгли титаниеви мишени за разпръскване, Китай кръгли титаниеви мишени за разпръскване производители, доставчици, фабрика

